在2011國際平板顯示產業高峰論壇(FPD International CHINA 2011/Beijing Summit)第一天下午的技術演講中,日本瑞翁(Zeon)電子材料事業推進部技術經理加藤丈佳以“瑞翁的顯示屏用新型開發材料”為題,介紹了該公司開發的新型顯示屏用涂布型透明絕緣材料“ZEOCOAT”。
ZEOCOAT是以該公司自行生產的環烯烴聚合物為基礎制成的絕緣材料。環烯烴聚合物是一種光學特性、電特性俱佳的材料。在光學方面,這種材料與丙烯一樣,對于大范圍波長的光線具有良好的透明性,在電特性方面,其相對介電常數為3.0~3.4,對于所有頻率都具有極低的相對介電常數。
在物理性質方面,該材料具有不易吸水的特性。吸水性僅為其他材料的1/10~1/100。在化學性質方面,該材料在有機物中具備高熱耐性。如果從衡量有機材料耐熱性的指標——重量減少5%的溫度來看,ZEOCOAT為350℃,比丙烯高35℃,比聚酰亞胺還要高25℃。并且具有成膜后殘留應力低的特點。
促進FPD性能提高和成本降低的三個方案
發揮ZEOCOAT的優勢,日本瑞翁為FPD企業展示了3個使用方案。
第一個是用作非晶Si-TFT的絕緣膜。ZEOCOAT可以取代過去利用CVD形成的硅氮化膜,通過涂布工藝取得相同的效果。第二個是形成TFT之后的平坦化。這是實現高精細顯示屏不可或缺的技術。第三個是有機EL面板的像素分離。通過使用ZEOCOAT,可以實現透明的有機EL面板。為了進一步提高ZEOCOAT的特性,增加新的功能,日本瑞翁正在進行相關的技術開發。
在用作涂布式絕緣膜時,ZEOCOAT可以作為削減背照燈耗電量的手段。現有的液晶面板在TFT陣列基板的上方形成了高折射率的硅氮化膜,因此界面會反射光線,導致亮度下降。而改換ZEOCOAT之后,因為折射率低,所以可以抑制反射。而且,ZEOCOAT還具備平坦化膜的功能,有望取得擴大開口部的效果。加藤表示,“模擬ZEOCOAT使用效果的結果顯示,亮度可以提高15%”。
而且,采用ZEOCOAT還有助于溫室氣體減排。在現在的CVD工藝中,確保形成高品質薄膜必須使用溫室氣體NF3進行清洗。而改用ZEOCOAT之后,使用此類氣體的清洗可以省略。
采用ZEOCOAT還能減少昂貴的生產設備——CVD裝置的購置數量,還有助于減少設備投資額。“按照第8代工廠生產的單張的生產成本推算,大約可以減少17美元”(加藤)。
通過試制應用元件驗證效果
ZEOCOAT等涂布式絕緣膜能夠帶來優秀的效果,這一點早已盡人皆知。但實際上,這種絕緣到至今尚未投入實用。這是因為考慮到材料從硅氮化膜改換為樹脂的風險,量產時元件的可靠性存在疑問。為了消除這一擔憂,日本瑞翁自主試制TFT陣列,在上方形成涂布式絕緣膜,暴露在60℃的環境下進行了可靠性加速試驗。結果確認,與絕緣膜采用硅氮化膜的陳列相同,TFT在關閉狀態下經過150小時或500小時后,漏電流仍未增大。加藤呼吁廠商采用這種絕緣膜,表示“作為絕緣膜,ZEOCOAT已經達到了可以利用的狀態”。
根據推測,在智能手機等用途,屏幕將追求更加精細,窄邊框化也將繼續發展。開發這種顯示屏的重點有兩個。一個需要能夠形成高精細的接觸孔,擴大開口率的平坦化膜,而是需要適應窄邊框化,能夠與金屬布線緊密貼合,防止金屬布線劣化的平坦化層。
經該公司實際確認,ZEOCOAT能夠形成直徑為2μm的接觸孔。而且,ZEOCOAT與鈦或硅氮化膜貼合性的調查結果顯示,該材料的貼合性高于丙烯材料,并且長時間后的變化較小。
面向有機EL面板的像素分離用途,該公司備有排放氣體減少到了1/10以下的ZEOCOAT。這種材料符合有機EL元件在水分氣體中劣化嚴重的特性。通過利用這種材料,可以制作出透明有機EL面板等前所未有的面板。日本瑞翁已經試制出在實際的像素分離中使用ZEOCOAT的有機EL元件,經確認,該材料確實具有抑制亮度劣化的作用。
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